高温退火炉系统中各构件的认识

　　据悉，有研究人员实践结果证明，大型高温退火炉采用PIC加DCS控制系统具有运行牢靠、稳定、操作方便、控制精度高、实时特性好、耐干扰能力强，具有良好的发展前景。其该退火炉系统各构件的设计如下：

　　一、温度控制系统的硬件结构：

　　温度控制系统共有6路K分度控制偶输入、6路K分度工件偶输入、1路4-20mA真空度测量输入，6路4~20mA控制输出，I路开关量控制输出，采用优良的集散控制系统。

　　二、控制系统的软件结构：

　　控制系统的软件结构主要由以下几大部分组成:真空机组控制程序、加热控制程序、强冷控制程序等组成。

　　三、真空机组控制程序：

　　真空机组控制程序负责对6套K-600机组的顺序控制，先对机组的扩散泵预热，然后控制机组对高温退火炉的炉体进行粗抽，当炉体真空度小于2Pa时，关闭粗抽阀门，打开高真空阀门，在控制过程中，若有报警发生，及时进行报警处理。

　　四、炉体加热控制程序：

　　炉体加热控制程序负责对6组炉内加热器进行温度的曲线控制，先判断炉内真空度是否小于5×103Pa，YES，则启动加热主回路;NO，则等待。在控制过程中，若有报警发生，及时进行报警处理。

　　五、强冷控制程序：

　　强冷控制程序先判断加热控温曲线程序是否结束，然后判断是否达到强冷温度点，若是，则打开回填强冷系统;若否，则等待。回填强冷系统打开以后，判断是否达到强冷结束点，若是，则结束工艺过程，若否，则等待。

　　六、程序软件设计：

　　程序设计体现流程图的思路，并用具体的语言和方式实现，在这个程序设计中，运用了梯形图与结构化文本语言相结合的方式编程，达到了高温退火炉良好的控制作用。