高温退火炉三大系统的应用情况分析

　　1、加热室的冷却水系统和快速冷却系统：

　　高温退火炉的冷却水系统包括分水器、水箱、网门、管道及各种检测元件，具有水压、流量、水温、缺水报警、城镇连接等功能。

　　同时，为了提高设备的工作效率，设备配备了气体冷却系统。快速冷却系统由换热器、磁流体密封装置、快速冷却风扇、软连接管、连接管等部件组成。当设备运行到快速冷却过程时，氩气填充网络打开，高纯度氩气填充到炉中。退火炉内气体压力达到设定值后，快速冷却装置的风扇启动，热气体进入热交换器进行热交换，冷却后的气体通过通风管送至炉体对工件进行冷却，从而循环工作。在此工作过程中，当炉内压力低于70kpa时，氩气网络将自动打开，向炉内补充氩气。

　　2、真空系统：

　　为了快速排出高温退火炉室内气体和材料热处理过程中释放的大量杂质气体，保持炉室内真空度符合工艺要求，本设备配备了两组kt-800a扩散泵机组，具有较强的抽气能力。两台扩散泵均配有挡油盖和温度监控，并配有加热功率调节器，以防范油回流。同时，为了防范油蒸气对工件的污染，在kt-800a扩散泵的端口设置低温氰离子冷阱，以提高真空室的清洁度。

　　3、电气控制系统：

　　电气控制系统由工控机、工控组态软件、数据采集卡、带通信的温度控制器（欧式）、输入输出模块、PLC（带相应的1o扩展和通信接口）、带输出控制的真空表、通信接口、，电气控制系统由几个控制柜（由制造商设计）组成。控制柜面板上有真空系统和供电加热系统的运行模拟图。同时显示各部分的加热电流、温度和扩散泵电流。整个控制系统可自动和手动切换，操作（控制）柜配有常用控制按钮。可以分别从上位机和主温控器调用和运行加热程序。高温退火炉炉门附近设有操作箱，便于观察和控制进料机构的进出口。操作箱包括进料、出料、停止等按钮和指示灯。主电路包括低压熔断器和快速熔断器。真空单元分段后，用小型变压器或电源模块代替大类型磁力调节器，占地面积小，运行稳定，节能，不污染环境，故障率低。